應用
? 驅動薄膜卡盤的專用油缸
技術特點
? 油缸兩個腔體的活塞面積設計成大/小不同的，用于卡盤的松開/夾緊
? 壓力范圍：大面積（用于卡盤松開）3-70 bar；小面積（用于卡盤夾緊）3-36 bar
? 可選1通路或2通路旋轉接頭
? 配直線位置檢測系統(tǒng)（LPS-XS不包含），用于監(jiān)測活塞的位置
? 中心通孔用于冷卻液、油或空氣的輸送，并且?guī)в杏脕戆惭b旋轉接頭的螺紋
? 安裝方式：螺釘從后面固定
? 液壓系統(tǒng)過濾精度要求：10 μm
? 液壓油：HM32 ISO 3448